日本KOFLOC小岛-质量流量计 MODEL 5410 SERIES
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日本KOFLOC小岛-质量流量计 MODEL 5410 SERIES
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简单介绍
日本KOFLOC小岛-质量流量计 MODEL 5410 SERIES低成本金属密封质量流显计|MODEL 5410 SERIES5410型是一种质量流量计,具有进一步改进的基本性能。虽然外观是传统产品，但传感器驱动方法3得到改进，以减少委漂移。它是一一种通过金属密封结构具有高气密性的产品，井增加了切口接头。提高每个流量范围的精度适用于微流量（选项规格）由于无焊接结构（VCR规格），金属密封，泄漏低
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日本KOFLOC小岛-质量流量计 MODEL 5410 SERIES
低成本金属密封质量流显计|
MODEL 5410 SERIES
5410型是一种质量流量计,具有进一步改进的基本性能。
虽然外观是传统产品，但传感器驱动方法3得到改进，以减少委漂移。
它是一一种通过金属密封结构具有高气密性的产品，井增加了切口接头。
提高每个流量范围的精度
适用于微流量（选项规格）
由于无焊接结构（VCR规格），金属密封，泄漏低
价格便宜
标准规格
流量范围
（N2转换20°C / 1 ATM） | 1SCCM~20SLM（任意条件选择） |
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| 传感器方式 | 热绕组传感器 |
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| 准确性 | ±1％F.S.（20°C） |
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| 温度系数 | 0.1％F.S./°C（15~35°C） |
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| 再现性 | ±0.2%F.S.（20°C）内 |
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| 可工作压力 | 300kPa（G）以下 |
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| 耐压 | 980kPa（G） |
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| He泄漏率 | 1 x 10-11 Pa.m3/s以下 |
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| 允许周围温度 | 0~50℃（精度保证温度15.35°C±0.1％FS /°C） |
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| 允许环境湿度 | 10~90%RH（无结露） |
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| 气体接触材料 | 车身SUS316L |
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| 隔膜Ni.Co |
| 阀座PTFE |
| 密封材料SUS316L，Ni |
| 电气连接 | Dsub 9针KFC 标准（符合SEMI标准） |
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流量设定
输入信号 | 0~5 VDC（*小负载电阻250kΩ以上） |
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| 所需电源 | +15 VDC（±5％）100 mA，
-15 VDC（±5％）100 mA |
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| 配件（车身尺寸） | 标准1/4 VCR等效 |
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| 重量 | 约800g |
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警告
流量范围附带的规格（流量范围，精度等）是N2或空气转换中的规格。
有关MFC规格，请单独查询。
接线连接
Dsub 9针KFC标准引脚排列
