日本KOFLOC小岛-质量流量控制器HFC-303 SERIES
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日本KOFLOC小岛-质量流量控制器HFC-303 SERIES
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简单介绍
日本KOFLOC小岛-质量流量控制器HFC-303 SERIES质量流量控制器，适翻于高流量HFC-303 SERIESHFC-303是一种质量流县控制器。通过结合电磁式先导阀和为大流县控制开发的气动流显控制阀，可实现大流虽的高精度气体控制，这在过去很难实现。作为HFC-203系列的后续产品，HFC 203系列已广泛应用于工业领域，是一种新型号，可实现更高的精度和高速响应。采用两级控制阀，支持高达
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日本KOFLOC小岛-质量流量控制器HFC-303 SERIES
质量流量控制器，适翻于高流量
HFC-303 SERIES
HFC-303是一种质量流县控制器。通过结合电磁式先导阀和为大流县控制开发的气动流显控制阀，可实现大流
虽的高精度气体控制，这在过去很难实现。
作为HFC-203系列的后续产品，HFC 203系列已广泛应用于工业领域，是一种新型号，可实现更高的精度和高
速响应。
采用两级控制阀，支持高达1000 SLM的高流量
即使流量大，也能实现±1.0％的高精度
确保传统型号的高速响应性能
如果流量超过1000 SLM，请与我们联系
标准规格
流量范围
（N2转换20°C / 1 ATM） | 100〜300 SLM（可选） | 301〜1000 SLM（可选 |
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| 传感器方式 | 热绕组传感器 |
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| 阀门方式 | 比例螺线管阀门（未通电时关闭） |
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| 控制范围 | 2~100％（F.S.） | 5~100％（F.S.） |
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| 准确性 | ±1％F.S.（25°C） |
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| 温度系数 | 0.1％F.S./°C（15~35°C） | 0.2％F.S./°C（15~35°C） |
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| 再现性 | ±0.25%F.S. |
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| 压差 | 个人反应 |
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| 耐压 | 3.4MPa（G）（HP选项6.8MPa（G）） |
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| He泄漏率（* 1） | 1 x 10-7 Pa.m3/s以下 |
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| 允许周围温度 | 5~45℃ |
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| 允许环境湿度 | 10~90%RH（无结露） |
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| 气体接触材料 | 主体SUS316，Ni，SUS302 |
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| 隔膜FKM |
| 阀座FKM |
| 密封材料FKM（选件CR，Kallets） |
| 电气连接 | Dsub 15针 |
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流量设定
输入信号 | 0~5 VDC（输入阻抗1MΩ以上） |
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| 流量输出信号 | 0~5 VDC（外部负载电阻250kΩ以上） |
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| 所需电源 | +15 VDC（±5％）150 mA，
-15 VDC（±5％）300 mA |
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| 配件（车身尺寸） | 标准1/2 SWL（3 / 4.16 UNF） | 标准3/4 SWL（1.1 / 16.12 UNF） |
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（* 1）不含渗透。
长期渗透引起的泄漏量（参考值）为1×10.6Pa•m3 / sec以下。
警告
流量范围附带的规格（流量范围，精度，响应性等）是N2或空气转换中的规格。
另外，生产规格条件是初级侧小于300kPa，次级侧向大气开放。
有关压力条件，请另行咨询。
接线连接（D-sub 15PIN）
| PIN | 信号名称 | PIN | 信号名称 |
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| 1 | NC | 9 | 电源-15VDC |
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| 2 | NC | 10 | NC |
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| 3 | NC | 11 | 电源+ 15VDC |
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| 4 | NC | 12 | 电源COM |
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| 5 | 电源COM | 13 | NC |
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| 6 | 输出信号0-5V | 14 | 设定信号 |
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| 7 | NC | 15 | NC |
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| 8 | 强制阀门打开/关闭 | |
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警告
3150/3250/3350/3450系列D-sub 15针和HFC / HFM系列
Z的D-sub 15引脚的布线布置不同。
连接不当可能会导致故障。
