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日本KOFLOC小岛-数字质量流量控制器 DF300DF550DF200DF250 MODEL DF-350C SERIES

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产品名称: 日本KOFLOC小岛-数字质量流量控制器 DF300DF550DF200DF250 MODEL DF-350C SERIES
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简单介绍

日本KOFLOC小岛-数字质量流量控制器 DF300DF550DF200DF250 MODEL DF-350C SERIESDF-350系列是款数字质量流量控制器, 以DF. 250系列50 SLM以下规格为基准,与DC24V电源兼容。DF300DF550DF200DF25050SML以下的规格高速响应(全范围1秒内)10SCCM~50SLM序列标准配备通讯功能(RS485)支持RoHS.CE规格


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日本KOFLOC小岛-数字质量流量控制器 DF300DF550DF200DF250 MODEL DF-350C SERIES

DF-350系列是款数字质量流量控制器, 以DF. 250系列50 SLM以下规格为基准,与DC24V电源兼容。

DF300

DF550

DF200

DF250

  • 50SML以下的规格高速响应(全范围1秒内)

  • 10SCCM~50SLM序列

  • 标准配备通讯功能(RS485)

  • 支持RoHS.CE规格

  • 可选择有无显示屏

  • 可选输入/输出信号

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DF-350C标准规范

传感器方式热绕组传感器
阀门方式比例电磁阀(未通电时关闭)
目标气体(* 1)N2,空气,H2,He,Ar,O2,CO2等
(未记载的气体换算成N2进行校正)
流量范围(* 2)10 SCCM~10 SLM20~50SLM
(CO2:20~30 SLM)
控制范围2~100%(F.S.)
响应速度总流量控制范围 1sec内(wihtin±2%F.S.)
L:50kPa~149kPa H:150kPa~300kPa
精度(* 3)±1.0%F.S.
再现性±0.25%F.S.
动作压差(* 4)50~300 kPa(Ar,CO2:100~300 kPa)100~300 kPa(Ar,CO2:150~300 kPa)
*大入口压力500kPa(G)
耐压980kPa(G)
He泄漏率(* 5)1 x 10-8 Pa·m3 / sec以下
温度使用温度5~50℃
精度保证温度15~35℃
允许储存温度-10~60℃
允许工作湿度10~90%RH (无结露)
气体接触材料SUS316、SUS316L、磁性不锈钢、Ni、PTFE、PCTFE、FKM
电气连接D-sub 15引脚 公头 高密度型,HR-10A×2
流量设定信号0~5 VDC(输入电阻:约1MΩ)or4~20mA(输入电阻:约250Ω)
流量输出信号0~5 VDC(负载电阻:10kΩ以上)or4~20mA(负载电阻:500Ω以下)
数字通信使用RS485旋转开关或显示屏设置地址:*多99台(9600 bps)
活动输入接点输入×3个(非绝缘)
活动输出NPN开路集电极×3个(非绝缘,*大额定值35 V,50 mA)
所需电源(DC)+ 24VDC(±10%)300mA以下(DC插孔.D-sub)
接头(* 6)1 / 4F 900(标准),1/4 UJR,Rc1 / 4
安装姿势推荐水平方向
重量(* 9)约950g约1100g

(* 1)应为干燥气体,无腐蚀性成分、灰尘、雾气等的干净气体。

(* 2)流量校准单位SCCM和SLM是质量流量在0°C和1个大气压状态下转换为体积流量cc / min和L / min的值。

(* 3)对于流量范围(*大满量程)的精度。

(* 4)操作压差可能因规格而异。

(* 5)不包括渗透。
长期渗透引起的泄漏量(参考值)为1×10.6Pa•m3 / sec以下。

(* 6)如需其他接头,请另行询问。

(* 7)不含接头的重量。

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