日本KOFLOC小岛-**金属密封质量流量控制器 MODEL 5100 SERIES
如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称:
日本KOFLOC小岛-**金属密封质量流量控制器 MODEL 5100 SERIES
产品型号:
产品展商:
其它品牌
产品文档:
无相关文档
简单介绍
日本KOFLOC小岛-**金属密封质量流量控制器 MODEL 5100 SERIES**金属密封质量流量控制器MODEL 5100 S ERIES5100系列是-款质量流量控制器， 它实现了无焊接结构(VCR规格)，金届密封的基本性能，以及半导体工艺气体控制所需的+1 %精度。板载传感器的响应能力。它具有出色的分辦率，可以处理1 sccm (N2) 的微流量。通过使用温度跟踪型电流差检测流量传感器
日本KOFLOC小岛-**金属密封质量流量控制器 MODEL 5100 SERIES 的详细介绍
日本KOFLOC小岛-**金属密封质量流量控制器 MODEL 5100 SERIES
**金属密封质量流量控制器
MODEL 5100 S ERIES
5100系列是-款质量流量控制器， 它实现了无焊接结构(VCR规格)，金届密封的基本性能，以及半导体工艺
气体控制所需的+1 %精度。
板载传感器的响应能力。它具有出色的分辦率，可以处理1 sccm (N2) 的微流量。
标准规格
流量范围
（N2转换20°C / 1 ATM） | 1SCCM~20SLM（任意条件选择） |
|---|
| 传感器方式 | 热绕组传感器 |
|---|
| 阀门方式 | 比例螺线管阀门（未通电时关闭） |
|---|
| 控制范围 | 2~100％（F.S.） |
|---|
| 响应速度 | 1秒内（±2％F.S.内） |
|---|
| 准确性 | ±1％F.S. |
|---|
| 温度系数 | 0.1％F.S./°C（15~35°C） |
|---|
| 再现性 | ±0.2%F.S. |
|---|
| 操作压差范围 | F.S.≤5SLM50. 300kPa |
|---|
| F. S.> 5 SLM 100. 300 kPa |
| 选项：低压差规格（LP）可根据条件制造 |
| 可工作压力 | 300kPa（G）以下 |
|---|
| 耐压 | 980kPa（G） |
|---|
| He泄漏率 | 1 x 10-11 Pa.m3/s以下 |
|---|
| 允许周围温度 | 0~50℃ |
|---|
| 允许环境湿度 | 10~90%RH（无结露） |
|---|
| 气体接触材料 | 车身SUS316L |
|---|
| 隔膜SUS316L |
| 阀座PTFE |
| 密封材料SUS316L，Ni，Au |
| 选项：SUS密封（SU），内部磨削规格（KP） |
| 电气连接 | Dsub 9针KFC 标准（符合SEMI标准） |
|---|
流量设定
输入信号 | 0~5 VDC（输入阻抗1MΩ以上） |
|---|
| 流量输出信号 | 0~5 VDC（外部负载电阻250kΩ以上） |
|---|
| 所需电源 | +15 VDC（±5％）100 mA，
-15 VDC（±5％）200 mA |
|---|
| 配件（车身尺寸） | 标准1/4 VCR等效选项1/4 SWL |
|---|
| 重量 | 约1000g |
|---|
警告
流量范围附带的规格（流量范围，精度，响应性等）是N2或空气转换中的规格。
另外，生产规格条件是初级侧小于300kPa，次级侧向大气开放。
有关压力条件，请另行咨询。
接线连接
Dsub 9针KFC标准引脚排列
