日本AMAYA株式会社天谷制作所太阳能电池AMAX1000S
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日本AMAYA株式会社天谷制作所太阳能电池AMAX1000S
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简单介绍
日本AMAYA株式会社天谷制作所连续常压CVD设备，用于批量生产兼容125mm方形和156mm方形的太阳能电池AMAX1000S连续常压CVD设备，用于批量生产兼容125mm方形和156mm方形的太阳能电池AMAX1000S156 毫米方形 1500 张/小时吞吐量采用SiC托盘防止重金属污染的对策，以及通过改善托盘支架防止背面环绕的措施特征可以使用满足太阳能电池生产需求的超批量生产设备运输156
日本AMAYA株式会社天谷制作所太阳能电池AMAX1000S 的详细介绍
日本AMAYA株式会社天谷制作所
连续常压CVD设备，用于批量生产兼容125mm方形和156mm方形的太阳能电池AMAX1000S
连续常压CVD设备，用于批量生产兼容125mm方形和156mm方形的太阳能电池
AMAX1000S
特征
可以使用满足太阳能电池生产需求的超批量生产设备运输156mm x 156mm方形基板和125mm x 125mm方形基板。
我们开发了可实现批量生产的专用分散头，以及实现超高速输送的双臂输送机构。 此外，还增加了灯管加热机构，以实现超高速和晶圆温度均匀性。
我们开发了一种特殊的晶圆支架，用于高效加热太阳能电池的薄晶圆。
卸料器部分使用多级Bernui卡盘来分离晶圆和托盘，并且还具有冷却功能。
性能
| 均匀的薄膜厚度 | ≦±10.0% |
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| 支持的晶圆尺寸 | 156毫米方形，125毫米方形 |
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| 气体种类 | SiH4，O 2， PH3， B 2 H6， N 2 |
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| 薄膜沉积温度 | ~430°C |
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| 生产力 | 1500张/小时 |
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主要规格
| 设备尺寸 | 1860毫米（宽） x 5900毫米（深） x 2100毫米（高） |
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| 加热机构 | 电阻加热和灯加热 |
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| 装载卸载 | 装载：卡盘，卸载：伯努利卡盘 |
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| 分散头（气体喷嘴） | A63 长头（标准 3 头） |
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