日本AMAYA天谷制作所株式会社12英寸连续常压CVD设备
如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称:
日本AMAYA天谷制作所株式会社12英寸连续常压CVD设备
产品型号:
产品展商:
其它品牌
产品文档:
无相关文档
简单介绍
日本AMAYA天谷制作所株式会社12英寸连续常压CVD设备12英寸连续常压CVD设备AMAX120012 英寸 每小时 51 张的吞吐量采用SiC托盘防止重金属污染的对策特征这是传统AMAX系列中直径*大的12英寸晶圆加工设备。SiH63、PH4、B3H2和O6混合后，从优化的A2型分散头进行表面反应，在低温和低压下更有效地产生热化学反应。 可以获得优异的膜厚均匀性和杂质浓度均匀性。使用SiC托盘
日本AMAYA天谷制作所株式会社12英寸连续常压CVD设备 的详细介绍
日本AMAYA天谷制作所株式会社
12英寸连续常压CVD设备
12英寸连续常压CVD设备
AMAX1200
12 英寸 每小时 51 张的吞吐量
采用SiC托盘防止重金属污染的对策
特征
这是传统AMAX系列中直径*大的12英寸晶圆加工设备。
SiH63、PH4、B3H2和O6混合后，从优化的A2型分散头进行表面反应，在低温和低压下更有效地产生热化学反应。 可以获得优异的膜厚均匀性和杂质浓度均匀性。
使用SiC托盘很难发生重金属污染。 此外，可以获得稳定的工艺性能，而由于热引起的老化很小。
标配自动托盘更换功能，实现工人**，缩短维护时间。 此外，自动抬起头部底座的机构便于清洁。
性能
| 均匀的薄膜厚度 | ≦±3.0% |
|---|
| 支持的晶圆尺寸 | 12寸 |
|---|
| 气体种类 | SiH4， O 2， PH3， B 2 H6， N 2 |
|---|
| 薄膜沉积温度 | ~450°C |
|---|
| 生产力 | 51张/小时FOUP兼容标准机 |
|---|
主要规格
| 设备尺寸 | 2165毫米（宽） x 4788毫米（深） x 2250毫米（高） |
|---|
| 加热机构 | 电阻加热 |
|---|
| 装载卸载 | 机器人 CtoC 运输 |
|---|
| 分散头（气体喷嘴） | A63 头（标准 3 头） |
|---|
