日本AMAYA天谷制作所株式会社常压CVD设备AMAX800V
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日本AMAYA天谷制作所株式会社常压CVD设备AMAX800V
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简单介绍
日本AMAYA天谷制作所株式会社常压CVD设备AMAX800V具有极端连续型的高生产率常压CVD设备AMAX800V8英寸 每小时 100 张的高吞吐量使用SiC托盘的重金属污染对策和长期稳定的工艺提高可维护性特征通过改进输送机构实现了高吞吐量。SiH4，PH3，B2H6和O2从AMAX型分散头分散后混合并表面反应，优化后在低温和低压下更有效地产生热化学反应。 可以获得优异的膜厚均匀性和杂质浓度均
日本AMAYA天谷制作所株式会社常压CVD设备AMAX800V 的详细介绍
日本AMAYA天谷制作所株式会社
常压CVD设备AMAX800V
具有极端连续型的高生产率常压CVD设备
AMAX800V
8英寸 每小时 100 张的高吞吐量
使用SiC托盘的重金属污染对策和长期稳定的工艺
提高可维护性
特征
通过改进输送机构实现了高吞吐量。
SiH4，PH3，B2H6和O2从AMAX型分散头分散后混合并表面反应，优化后在低温和低压下更有效地产生热化学反应。 可以获得优异的膜厚均匀性和杂质浓度均匀性。
使用SiC托盘很难发生重金属污染。 此外，可以获得稳定的工艺性能，而由于热引起的老化很小。
标配自动托盘更换功能，实现工人**，缩短维护时间。 此外，自动抬起头部底座的机构便于清洁。
性能
| 均匀的薄膜厚度 | ≦±3.0% |
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| 支持的晶圆尺寸 | 8寸 |
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| 气体种类 | SiH4， O 2， PH3， B 2 H6， N 2 |
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| 薄膜沉积温度 | 350°C~450°C |
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| 生产力 | 100个/小时 |
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主要规格
| 设备尺寸 | 1460毫米（阔） x 3830毫米（深） x 2250毫米（高） |
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| 加热机构 | 电阻加热 |
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| 装载卸载 | 机器人 CtoC 运输 |
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| 分散头（气体喷嘴） | AMAX头（标准2头，3头可用） |
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