Malema互连联锁装置旁通泄漏检测系统

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产品名称: Malema互连联锁装置旁通泄漏检测系统

产品型号: MIID-1000

产品展商: 其它品牌

产品文档: 无相关文档

简单介绍

Malema互连联锁装置旁通泄漏检测系统MIID-1000 Malema互连联锁装置旁通泄漏检测系统MIID-1000是专为化学机械平面化（CMP）工具而设计的，已获得**，专门用于防止液体回流和内部旁通泄漏。这种能力是通过以协调方式运行的气动阀歧管创建的，以确保CMP液体供应在使用前或实际CMP过程中不会被污染。MIID-1000配备了改装套件，可安装到现有的CMP工具中。

Malema互连联锁装置旁通泄漏检测系统 的详细介绍

Malema互连联锁装置旁通泄漏检测系统MIID-1000
行业：半导体

Malema互连联锁装置旁通泄漏检测系统MIID-1000是专为化学机械平面化（CMP）工具而设计的，已获得**，专门用于防止液体回流和内部旁通泄漏。这种能力是通过以协调方式运行的气动阀歧管创建的，以确保CMP液体供应在使用前或实际CMP过程中不会被污染。MIID-1000配备了改装套件，可安装到现有的CMP工具中。

Malema互连联锁装置旁通泄漏检测系统MIID-1000概述、规格和文件
Malema™互连联锁装置（MIID-1000）旁通泄漏检测和预防系统为实验室、工业厂房和晶圆制造设施中的散装化学品和高纯水服务提供回流保护。

Malema互连联锁装置旁通泄漏检测系统MIID-1000特征
所有接触液体的部件均采用高纯度PTFE和PFA结构。
PFA和PVDF的非润湿表面
一体化设计，安装紧凑，节省空间。
设计用于*小化水头损失
现场可配置的火炬连接[入口可配置为¼“或3/8”火炬接头]，简化了改装安装，减少了库存
阀门部件在去离子水中测试超过10,000,000次（在卡博特SS-12中超过1,050,000次）。
阀门Cv=0.8
内置泄漏检测和监控
内置光学阀位置传感

更多Malema互连联锁装置旁通泄漏检测系统MIID-1000信息请直接致电埃登威上海公司18939876302

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