超纯氮氩氦氢气体纯化器

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产品名称: 超纯氮氩氦氢气体纯化器

产品型号: 7NG HP/UP气体纯化器

产品展商: 其它品牌

产品文档: 无相关文档

简单介绍

7NG HP/UP气体纯化器超高纯氢气、氮气、稀有气体、氧气等气体是LED、大规模集成电路等半导体行业的重要原料。这些气体主要用作半导体生产过程中的载气和保护气体，其纯度对产品的质量和性能至关重要。随着半导体技术的飞速发展，对气体纯度的要求越来越高。半导体、LED外延等生产线对部分大宗气体的纯度要求已经达到8N以上，而钢瓶、储罐等一次气源供应的气体为4~6N，达不到这个要求。

超纯氮氩氦氢气体纯化器 的详细介绍

超纯氮氩氦氢气体纯化器7NG HP/UP系列

超高纯氢气、氮气、稀有气体、氧气等气体是LED、大规模集成电路等半导体行业的重要原料。这些气体主要用作半导体生产过程中的载气和保护气体，其纯度对产品的质量和性能至关重要。随着半导体技术的飞速发展，对气体纯度的要求越来越高。半导体、LED外延等生产线对部分大宗气体的纯度要求已经达到8N以上，而钢瓶、储罐等一次气源供应的气体为4~6N，达不到这个要求。
当用户对气体纯度的要求为七个九及以上时，必须现场使用气体净化器。因为一般的气体供应商无法通过钢瓶等容器提供如此高纯度的气体。尽管一些气体供应商可以提供大约6种9纯度的气体。但是价格很贵。如果用户对气体纯度的要求在6 9左右，建议一般用气体净化器净化4 ~ 5 9纯度的气体更方便经济。

超纯氮氩氦氢气体纯化器产品简介

7NG HP/UP系列气体纯化器由气路和电控两部分所组成。气路部分主要由吸气剂(Getter)纯化单元和一系列阀门、气体管路和散热器所组成。纯化器采用化学反应的方法在高温下将工艺气体中的H2O, O2, CO, CO2, CH4, NMHC等杂质去除到5ppb以下。电控部分负责控制系统的温度控制和**报警等过程，确保纯化器能够持续**稳定地运行。

超纯氮氩氦氢气体纯化器超纯氮氩氦氢气体纯化器产品特点

出口气体中各杂质含量小于5ppb 可以从稀有气体和氮气中去除甲烷可以从稀有气体中去除氮气 316L SS 纯化罐配置旁通隔膜阀

超纯氮氩氦氢气体纯化器纯化指标

气体类型*	可纯化气体*	去除杂质	纯化指标
稀有气体-R	Ar, He, Xe, Ne, Kr	H2O, O2, CO, CO2, H2, CH4, NMHC, N2	<5ppb
氮气-N	N2	H2O, O2, CO, CO2, H2, CH4, NMHC	<5ppb

超纯氮氩氦氢气体纯化器型号说明

产品型号	常规流量 (Nm3/h)	*大压力 (MPa)	颗粒过滤器 (μm)	进/出气口接头	机柜尺寸 WxDxH(mm)
7NG150-300 HP	10, 20	16	1	1/4” VCR	650x685x1840
7NG500-700 HP	30, 40	16	1	1/4” VCR	1000x685x1840
7NG200-400 UP	15, 25	22	1	1/4” VCR	650x685x1840
7NG600-800 UP	35, 50	22	1	1/4” VCR	1000x685x1840

7NG HP/UP气体纯化器产品应用

标准气体平衡气纯化混合气体生产电子气体生产超纯氮、氩、氦、氢等气体生产

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