惰性气体氧气氢气纯化器

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产品名称: 惰性气体氧气氢气纯化器

产品型号: 9NP气体纯化器厂家

产品展商: 其它品牌

产品文档: 无相关文档

简单介绍

惰性气体氧气氢气纯化器9NP系列高性能气体净化器采用常温催化技术，通过化学反应和物理吸附相结合，在常温下将工艺气体中的H2O、O2、CO、CO2、H2、NMHC等杂质去除至1ppb以下。此外，316L不锈钢内胆内置过滤精度为0.003微米的颗粒过滤器，内表面经过电化学抛光处理。

惰性气体氧气氢气纯化器 的详细介绍

惰性气体氧气氢气纯化器

9NP系列高性能气体净化器采用常温催化技术，通过化学反应和物理吸附相结合，在常温下将工艺气体中的H2O、O2、CO、CO2、H2、NMHC等杂质去除至1ppb以下。此外，316L不锈钢内胆内置过滤精度为0.003微米的颗粒过滤器，内表面经过电化学抛光处理。主要用于氦气、氖气、氩气、氪气、氙气的净化，可以大大去除气体中含有的氧气、氮气、氢气、二氧化碳、碳氧化物、碳氢化合物、水等杂质。为ICP-MS、ICP-MS、原子吸收光谱、气相色谱、液相色谱、GC-MS等提供高纯度惰性气体。以确保良好的惰性气氛。

惰性气体氧气氢气纯化器产品特性

常温下流量范围1-2000slm的出口气体杂质含量小于1ppb，内置0.003微米316L SS过滤器的316L SS EP净化罐100%氦检漏，可配置二阀、三阀、四阀等阀门组件，可原厂认证回收CE。使用成本低。

惰性气体氧气氢气纯化器纯化指标

气体类型*	可纯化气体*	去除杂质	纯化指标
惰性气体-I	N2, Ar, He, Xe, Ne, Kr	H2O, O2, CO, CO2, H2, NMHC	<1ppb
氧气-O	O2, CDA	H2O, CO2, NMHC
氢气-H	H2 H2与惰性气体混合气	H2O, O2, CO, CO2, NMHC

*表格中仅列出典型的气体类型和常见的可纯化气体，更多气体纯化应用请与埃登威联系。

惰性气体氧气氢气纯化器型号说明

产品型号	常规流量 (slm)	*大压力 (MPa)	*大压差 (MPa)	颗粒过滤器 (μm)	进/出气口接头	进出气口距离 L	纯化器外径 D
9NP001	1	1.0	0.1	0.003	1/4” MVCR	3.3” (84mm)	1.5” (38.1mm)
9NP003	3	1.0	0.1	0.003	1/4” MVCR	4.5” (114mm)	1.5” (38.1mm)
9NP005	5	1.0	0.1	0.003	1/4” MVCR	5” (127mm)	1.5” (38.1mm)
9NP030	30	1.0	0.1	0.003	1/4” MVCR	6.3” (160mm)	2” (50.8mm)
9NP050	50	1.0	0.1	0.003	1/4” MVCR	7.9” (202mm)	3” (76.2mm)
9NP300	300	1.0	0.1	0.003	1/4” MVCR	17.3” (440mm)	4” (101.6mm)
9NP300-8L	500	1.0	0.1	0.003	1/2” MVCR	20.0” (508mm)	4” (101.6mm)
9NP999	1000	1.0	0.1	0.003	1/2” FVCR 1/2” MVCR	28.2” (716mm)	6” (152.4mm)
9NP1999S	2000	1.0	0.1	0.003	3/4” MVCR	50.8” (1290mm)	6” (152.4mm)

表格中仅列出标准流量、指标和配置，更多特殊要求请与埃登威联系。

惰性气体氧气氢气纯化器产品应用

集成电路制造半导体分立器件制造硅片、衬底、外延片生产 LED、激光器制造高效太阳能电池生产光纤预制棒生产众多半导体工艺设备配套超高纯气体、混合气体和标准气体生产吹扫气体、载气及零点气体纯化大学和研究所等科研机构产品研发

氢气净化装置的工作原理:采用非蒸散性锆铝合金16吸气剂作为净化剂。吸气剂主要由Zr5AL4、Zr5AL3、Zr3AL2、Zr2AL等金属间化合物组成。它具有高活性和低扩散活化能。气体吸附在表面时，在一定温度下会很容易扩散到体内，具有吸杂率高、吸杂量大的特点。活化后，它能在*佳吸气温度范围内有效吸收O2、N2、CO2、CO、H2、CH4和水。

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