Puren-T H2O 微量水分析仪

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产品名称: Puren-T H2O 微量水分析仪

产品型号: 光能科技ppb半导体用微量水分析仪

产品展商: 其它品牌

产品文档: 无相关文档

简单介绍

Puren-T H2O 微量水分析仪在集成电路生产过程中，气体中的杂质将会直接影响芯片的寿命和性能。目前，光腔衰荡水分析仪在半导体领域中是测痕量水分的标准设备。因为它能够及时检测出气体中的杂质含量是否超标，所以对半导体制程后端的产品质量提升有非常大的帮助。

Puren-T H2O 微量水分析仪 的详细介绍

Puren-T H2O 微量水分析仪

高纯气体是集成电路、光伏、光纤等产业的重要基础材料，在大规模集成电路芯片生产过程中，气体中的气态、液态和固态杂质均会对芯片质量构成重要影响。由于气体中的微量氧和水的存在，在高温下合成的半导体器件表面容易生成氧化膜，这是影响器件寿命和性能的重要因素。

在集成电路生产过程中，气体中的杂质将会直接影响芯片的寿命和性能。目前，光腔衰荡水分析仪在半导体领域中是测痕量水分的标准设备。因为它能够及时检测出气体中的杂质含量是否超标，所以对半导体制程后端的产品质量提升有非常大的帮助。

一、Puren-T H2O 微量水分析仪性能规格表微量水分析仪性能规格表

Puren-T H2O 微量水分析仪性能电子参数

适用气体多数有毒的、不活跃性气体检测范围详见技术参数表测量下限详见技术参数表

灵敏度 ±0.75%或 1/3LDL 气路准确度 ±3% 系

统响应速度 <1minute to 90% 和

报警指示系统报警条件用户可编程报警

供电要求 100-240VAC，50/60Hz 功率 20W(MAX)

用户界面 7 寸液晶显示屏

4-20mA输出

工作环境温度存放温度管路材料气体连接检漏测试入口压力 *大流量通入气体温度保护气接口尺寸重量

Puren-T H2O 微量水分析仪测量下限

200ppt 200ppt 130ppt 150ppt 100ppt

10°C~40°C -10°C-40°C
316L 不锈钢
Ra0.25 表面光洁 1/4 VCR 外螺纹接口 <1×10-9mbar l/sec 0.2-0.8MPa

1.5slm

*高 60°C
N2 or He,1/8 外螺纹卡套接头

600mm×200mm×200mm 10Kg

灵敏度

100ppt 70ppt 45ppt 50ppt 20ppt

信号输出自适应网络 RS-232 串行通信

二、Puren-T H2O 微量水分析仪技术参数表被检气和背景气测量范围

H2O in N2 0-20ppm H2O in H2 0-16ppm H2O in Ar 0-9ppm H2O in O2 0-10ppm H2O in He 0.4ppm

Puren-T H2O 微量水分析仪应用非常广泛，不仅有来自半导体产业、液晶平板显示器(LCD)、光电子器件(LED)制造业、太阳能光伏产业等领域的终端客户，也有一些上游的气体制造商，比如华特气体、金宏气体等。

更多Puren-T H2O 微量水分析仪光能科技ppb半导体用微量水分析仪信息请直接致电埃登威上海公司13482246053

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