半导体高纯气体CQC系统集成

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产品名称: 半导体高纯气体CQC系统集成

产品型号: ppb级电子气微量氧水分析仪

产品展商: 其它品牌

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简单介绍

半导体高纯气体CQC系统集成按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类，特殊材料气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺，高纯气体主要用作稀释气和运载气，电子大宗气作为半导体集成电路制造的关键材料，其生产的不间断性、性等对于半导体集成电路制造起着关键性作用，其中cqc分析仪的读值对整个系统的稳定性、可靠性和质量、起着决定性作用

半导体高纯气体CQC系统集成 的详细介绍

半导体高纯气体CQC系统集成

我们知道电子大宗气是发展集成电路、微电子、光电子，尤其是超大规模集成电路、半导体发光器件、液晶显示器件和半导体材料制造过程中不可缺少的基础性支撑源材料，并从根本上制约着电路和器件的**性和准确性，按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类，特殊材料气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺，高纯气体主要用作稀释气和运载气，电子大宗气作为半导体集成电路制造的关键材料，其生产的不间断性、**性等对于半导体集成电路制造起着关键性作用，其中cqc分析仪的读值对整个系统的稳定性、可靠性和质量、**起着决定性作用；传统方案是由操作人员对数值设简单的ooc或oos报警，出现问题后人员再对事件进行分析判断和处理的故障后分析处理，但是这种方法很难判断故障原因，而且维修时间比较长，同时处理时可能造成严重的事故。

半导体高纯气体CQC系统集成主要由气体的水分分析仪，氧分分析仪，颗粒分析仪和气象色谱分析仪组成，针对气体中的水分, 氧分, 固体颗粒物，碳氧化合物，碳氢化合物，氮, 氢等杂质气体的含量进行测量监控。

通常测定高纯气体中 10- 6～10- 9量级 O2时，则赫兹电池式氧分析仪更有独到之处，而其他氧分析仪则不能满足其要求，而对于样气中含有微量酸性气体的情况，只有赫兹电池式氧分析仪才能排除其干扰，防止传感器中毒，给出准确的分析数据。赫兹电池式氧分析仪的代表厂家是日本液化空气公司。

微量水分析仪一般选择光纤衰荡技术，以Tiger Optics和光能科技为代表。

颗粒度仪则可以选择PMS等三家公司品牌。

所有 CQC 仪器柜都配置有各分析仪器所需硬件，即仪器机柜、管件、阀件、氢气泄漏侦测器、零点纯化器、
过滤器等。样气、标气、仪表气、辅助气等气路衔接口均设置于仪器柜上方，并于各仪器机柜上方设置有 4”
负压抽风口。所需管路，阀件，辅助件均为 EP 级，并遵照客户所规定品牌供应商;管路焊接均采用自动焊接，以符合超高纯气体使用要求。

更多半导体高纯气体CQC系统集成信息请直接致电埃登威上海公司13482246053

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