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Teledyne API水冷式臭氧发生器

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产品名称: Teledyne API水冷式臭氧发生器
产品型号: OG-5000
产品展商: 其它品牌
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简单介绍

Teledyne API水冷式臭氧发生器OG-5000 OG-5000系列臭氧发生器是为满足半导体工业中对高浓度洁净臭氧的需求而设计的，可应用于化学气相沉积、原子层沉积、氧化物生长和湿台流程中。OG-5000系列设计紧凑，使用水冷系统，能够简便的整合进TAPI的臭氧系统控制器、臭氧泄露探测器、臭氧浓度监测器和臭氧破坏器中。Teledyne API水冷式臭氧发生器OG-5000该仪器经过验证的技术使得它可广泛应用于半导体流程中。


Teledyne API水冷式臭氧发生器  的详细介绍

Teledyne API水冷式臭氧发生器OG-5000

OG-5000系列臭氧发生器是为满足半导体工业中对高浓度洁净臭氧的需求而设计的，可应用于化学气相沉积、原子层沉积、氧化物生长和湿台流程中。OG-5000系列设计紧凑，使用水冷系统，能够简便的整合进TAPI的臭氧系统控制器、臭氧泄露探测器、臭氧浓度监测器和臭氧破坏器中。Teledyne API水冷式臭氧发生器OG-5000该仪器经过验证的技术使得它可广泛应用于半导体流程中。


Teledyne API水冷式臭氧发生器OG-5000特征
  • 高纯度臭氧
  • 高臭氧浓度
  • 价格低
  • 无耗材
  • 设计紧凑，模块化
  • 经过验证的技术
Teledyne API水冷式臭氧发生器OG-5000应用
化学气相沉积 (CVD)
原子层沉积 (ALD)
氧化物生长
表面处理
灰化
颗粒清洁
光刻胶去除
其他
更多Teledyne API水冷式臭氧发生器OG-5000信息请直接致电埃登威上海021-55581219
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