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Teledyne API臭氧发生器

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产品名称: Teledyne API臭氧发生器
产品型号: SCI-552
产品展商: 其它品牌
产品文档: 无相关文档

简单介绍

Teledyne API臭氧发生器SCI-552 SCI-552是臭氧输送系统的控制器，能够为很多系统部件提供电气控制界面，包括：臭氧发生器、EV阀、质量流量计、背压控制器、TAPI452臭氧传感器、 TAPI 470 溶解臭氧传感器和水冷却器。


Teledyne API臭氧发生器  的详细介绍

Teledyne API臭氧发生器SCI-552

SCI-552是臭氧输送系统的控制器，能够为很多系统部件提供电气控制界面，包括：臭氧发生器、EV阀、质量流量计、背压控制器、TAPI452臭氧传感器、 TAPI 470 溶解臭氧传感器和水冷却器。


Teledyne API臭氧发生器SCI-552基于软硬件特点，提供了很多系统联锁功能，它灵活性高，允许用户通过前面板用户界面、MODBUS串行接口或各种离散型数字和模拟输入来控制整个系统。SCI-552能够支持两台臭氧发生器并提供两条独立的臭氧输出渠道。



  • RS-232 MODBUS远程支持
  • *多控制2台臭氧发生器Teledyne API臭氧发生器SCI-552
  • *多与2台452和470臭氧测量仪器交互
  • *多控制4台质量流量控制器
  • *多控制2台背压控制器
  • *多控制2个EV阀
  • *多控制1台水冷却器
  • 系统联锁输入
  • 远程系统级别控制和状态输入/输出

  • 化学气相沉积(CVD)Teledyne API臭氧发生器SCI-552
  • 原子层沉积(ALD)
  • 氧化物生长
  • 表面处理
  • 灰化
  • 粒子清洁
  • 光刻胶去除
  • 其他


更多Teledyne API臭氧发生器SCI-552信息请直接致电埃登威上海021-55581219

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