Teledyne API高纯度臭氧输送系统

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产品名称: Teledyne API高纯度臭氧输送系统

产品型号: Mini ODS

产品展商: 其它品牌

产品文档: 无相关文档

简单介绍

Teledyne API高纯度臭氧输送系统 Mini ODS是紧凑但完整的臭氧输送系统，能够为许多晶元处理应用提供浓度高达 21% w/w, 320g/Nm3的臭氧。该系统虽然使用紧凑型设计，却是一个完整的臭氧输送系统，包含：高浓度臭氧发生器、高浓度臭氧监测仪、基于微处理器的控制器和满足全部要求的调节器和气动装置。

Teledyne API高纯度臭氧输送系统 的详细介绍

Teledyne API高纯度臭氧输送系统

Mini ODS是紧凑但完整的臭氧输送系统，能够为许多晶元处理应用提供浓度高达 21% w/w, 320g/Nm3的臭氧。该系统虽然使用紧凑型设计，却是一个完整的臭氧输送系统，包含：高浓度臭氧发生器、高浓度臭氧监测仪、基于微处理器的控制器和满足全部要求的调节器和气动装置。

Teledyne API高纯度臭氧输送系统Mini ODS能够拓展支持额外的独立流程臭氧发生器，这些流程可需求不同浓度和不同流量的臭氧。该仪器操作和维护简单，不需求消耗品或预防性维护。该系统也能与通常湿法工艺中需求的溶解臭氧监分析仪交互。为了更加**，该系统也能与TAPI的多通道臭氧泄露探测仪和臭氧破坏器子系统联锁。

设计紧凑
生产浓度超过21% w/w的臭氧
19"机架固定或放置在桌面
价格低，无消耗品
完全整合的方案包括:

高纯度臭氧发生器
高浓度臭氧分析仪
闭环伺服控制器
氧气质量流量控制器
氮气质量流量控制器
背压调节器
电气转移阀

Teledyne API高纯度臭氧输送系统规格

Teledyne API高纯度臭氧输送系统应用

半导体

化学气相沉积 (CVD)
原子层沉积 (ALD)
氧化物生长
表面处理
颗粒清洁
光刻胶去除
灰化

更多Teledyne API高纯度臭氧输送系统Mini ODS 信息请直接致电埃登威上海021-55581219

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