Teledyne API高浓度高纯度臭氧输送系统ODS
ODS系列高浓度高纯度臭氧输送系统为要求*高的半导体应用而设计。这个高度可靠的臭氧输送系统适合需求不同流量的高浓度臭氧的应用中。该臭氧输送系统整合完全，操作简单，能够方便的与绝大多数半导体机台联动，插入即可使用。产品：微量氧分析仪,药品残氧仪,露点仪,热导气体分析仪,GE流量计,OX-1氧传感器,顶空分析仪,红外气体分析仪,高温湿度仪,西门子U23分析仪,ppb微量水分析仪,OXY.IQ氧分析仪,烟气湿度仪,燃气热值仪,Kaye温度验证仪,L&W白度,仪激光氧分析仪,压缩空气露点仪,干燥机露点仪,激光气体分析仪,便携式露点仪,便携式微量氧分析仪，Fei （维修中心，代表处，总代理，分公司，子公司，售后中心，销售中心，上海办，办事处）
该系统基于微处理器的控制器能够根据用户提供的设定值伺服控制臭氧输送。
Teledyne API高浓度高纯度臭氧输送系统ODS该臭氧输送系统包括多通道臭氧泄露探测器和带排气系统的外壳。全部的气体管线都有双重保险。
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高纯度水冷臭氧发生器，可生产浓度高达350 g/Nm3的臭氧
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先进的高浓度监测仪
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使用质量流量控制器监测和控制臭氧和进料气
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完整的**联锁和EMO系统
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支持*多四个独立的伺服控制回路
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19英寸机架固定，顶端配有排气系统，底端配有轮子
Teledyne API高浓度高纯度臭氧输送系统ODS规格
Teledyne API高浓度高纯度臭氧输送系统ODS - 氧气输送系统具有多功能性，且安装使用简单，已经广泛应用在需求不同浓度、流量的薄片处理应用中，例如：
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半导体
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化学气相沉积(CVD)
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原子层沉积(ALD)
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氧化物生长
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表面处理
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粒子清洁
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光刻胶去除
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灰化
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