Teledyne API水冷臭氧发生器OG-5000
OG-5000系列臭氧发生器是为满足半导体工业中对高浓度洁净臭氧的需求而设计的，可应用于化学气相沉积、原子层沉积、氧化物生长和湿法处理过程中。产品：微量氧分析仪,药品残氧仪,露点仪,热导气体分析仪,GE流量计,OX-1氧传感器,顶空分析仪,红外气体分析仪,高温湿度仪,西门子U23分析仪,ppb微量水分析仪,OXY.IQ氧分析仪,烟气湿度仪,燃气热值仪,Kaye温度验证仪,L&W白度,仪激光氧分析仪,压缩空气露点仪,干燥机露点仪,激光气体分析仪,便携式露点仪,便携式微量氧分析仪，Fei （维修中心，代表处，总代理，分公司，子公司，售后中心，销售中心，上海办，办事处）
OG-5000系列设计紧凑，使用水冷系统，能够简便的整合进TAPI的臭氧系统控制器、臭氧泄露探测器、臭氧浓度监测器和臭氧破坏器中。该仪器经过验证的技术使得它可广泛应用于半导体流程中。
Teledyne API水冷臭氧发生器
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高纯度臭氧
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高臭氧浓度
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价格低
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无消耗品
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设计紧凑，模块化
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经过验证的技术
Teledyne API水冷臭氧发生器OG-5000
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Teledyne API水冷臭氧发生器应用
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半导体
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化学气相沉积 (CVD)
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原子层沉积 (ALD)
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氧化物生长
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表面处理
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粒子清洁
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光刻胶去除
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灰化
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其他
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